一种轴对称电子光学系统的快速计算方法

摘要

本发明公开了一种电子光学系统的快速计算方法，属于电子真空技术仿真计算领域。本发明将轴对称电子光学系统降为二维，在二维平面进行网格划分并进行电场的迭代计算，将得到的二维电场分布拓展后，得到电子光学系统内完整的三维电场分布，结合计算得到的电子光学系统内的磁场分布，由轨迹计算方程计算出电子在电子光学系统中的运动轨迹，最后由电子的运动轨迹得到空间电荷效应电场分布，通过多次迭代对内部电场进行修正，最终完成计算。本发明通过降维的方式将三维电场的求解转换至二维电场求解，大幅减少了计算求解时间，然后通过轨迹计算方程计算出电子完整运动轨迹，在高频领域其轨迹更加精确。