一种正压力不敏感型叉指电容式应变传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及应变传感器，具体是一种正压力不敏感型叉指电容式应变传感器及其制备方法。本发明解决了现有电容式应变传感器无法区分拉力与正压力、无法应用于大拉伸应变的问题。一种正压力不敏感型叉指电容式应变传感器，包括柔性上基板、柔性下基板；柔性上基板的下表面开设有叉指型微流控通道，且叉指型微流控通道的两个接线端与柔性上基板的上表面之间各开设有一个上下贯通的填充孔；柔性上基板的下表面和柔性下基板的上表面粘合在一起；叉指型微流控通道内填充有液态金属叉指电极；两个填充孔的孔口均封堵有粘接剂。本发明适用于人机界面、软机器人、电子皮肤等领域。