基于松针状CdS/CdO异质结构纳米敏感材料的H2S传感器及其制备方法

摘要

一种基于松针状CdS/CdO异质结构纳米敏感材料的H2S气体传感器及其制备方法，属于半导体气体传感器技术领域。传感器由外表面带有两条平行、环状且彼此分立的金电极的Al2O3陶瓷管衬底、涂覆在Al2O3陶瓷管外表面和金电极上的敏感材料、置于Al2O3陶瓷管内的镍镉加热线圈组成。敏感材料为松针状CdS/CdO异质结构纳米敏感材料，由纳米棒分等级组装而成。本发明利用松针状结构的几何效应，以及CdS/CdO两者之间的异质结构进而有效地提高了传感器对于H2S的敏感特性。此外，本发明器件工艺简单，成本低廉，体积小，适于大批量生产，在检测H2S方面有广阔的应用前景。