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公开/公告号CN113690200A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-23
原文格式PDF
申请/专利权人 哈尔滨理工大学;
申请/专利号CN202111083925.3
发明设计人 王东兴;高小婷;冯高旭;
申请日2021-09-15
分类号H01L23/31(20060101);H01L29/861(20060101);H01L21/56(20060101);H01L23/29(20060101);
代理机构
代理人
地址 150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号
入库时间 2023-06-19 13:21:35
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