基于显微立体偏折束技术的超精密测量装置和方法

摘要

本发明提供了一种基于显微立体偏折束技术的超精密测量装置和方法，包括固定架，所述固定架上设置有显微立体偏折束组件、样品台及计算机；所述计算机与所述显微立体偏折束组件连接，所述样品台位于所述显微立体偏折束组件的一侧；所述样品台用于放置所述待测镜面，所述显微立体偏折束组件用于测量所述待测镜面。本发明使用所述DMD投影仪增加了所述编码图案的光强，降低了环境光对超精密测量的影响，同时解决了高倍率物镜因传统投影屏幕光强较低无法使用的问题。