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光固化性组合物、凹凸结构体的制造方法、形成微细凹凸图案的方法及凹凸结构体

摘要

一种光固化性组合物,其用于形成凹凸结构体的树脂层,所述凹凸结构体具备基板、以及设置于该基板上且表面形成有微细凹凸的所述树脂层。该光固化性组合物的固化膜的基于Kitazaki‑Hata的理论测定得到的表面自由能为15mJ/m2~40mJ/m2,使用纳米压痕仪测定得到的硬度为0.05GPa~0.5GPa。

著录项

  • 公开/公告号CN113574086A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-10-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三井化学株式会社;

    申请/专利号CN202080020547.1

  • 申请日2020-03-31

  • 分类号C08G59/22(20060101);C08G65/18(20060101);H01L21/027(20060101);B29C59/02(20060101);

  • 代理机构11243 北京银龙知识产权代理有限公司;

  • 代理人陈彦;郭玫

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-06-19 13:02:24

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-11-07

    授权

    发明专利权授予

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