具有电子能量损失光谱检测器的透射带电粒子显微镜

摘要

具有电子能量损失光谱检测器的透射带电粒子显微镜。本发明涉及一种透射带电粒子显微镜，包括：带电粒子束源，用于发射带电粒子束；样本固持器，用于固持样本；照射器，用于将从所述带电粒子束源发射的所述带电粒子束引导到所述样本上；和控制单元，用于控制所述透射带电粒子显微镜的操作。如本文中所定义，所述透射带电粒子显微镜布置成用于在至少两个模式下操作，所述至少两个模式大体上产生第一放大率，同时保持所述衍射图案大体上聚焦。所述至少两个模式包括：第一模式，具有投影系统的最终投影仪透镜的第一设定；和第二模式，具有所述最终投影仪透镜的第二设定。