法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-08
授权
发明专利权授予
机译: 一种用于固定封闭真空系统中随机直径容器中的信标位置的固定夹,以及用于封闭真空系统(尤其是集管)中插入容器的容器的固定夹
机译: 真空处理设备,用于除去真空处理设备中的真空容器的内表面上的沉积膜的方法以及用于使真空处理设备中的真空容器的内表面上的膜沉积均匀的方法
机译: 具有金刚石表面的真空材料,用于生产真空的材料的表面处理,金刚石膜表面,真空容器及其零件,是通过使用用于真空的材料,真空中的驱动机制,电子束,电子辐射源,电子源来制造的蒸气沉积源