一种基于希尔伯特变换的白光干涉信号非均匀采样的校正方法

摘要

本发明涉及一种基于希尔伯特变换的白光干涉信号非均匀采样的校正方法，属于精密测量的信号处理技术领域。该方法主要是通过希尔伯特变换分别计算得到CCD相机采集的测量的干涉信号包络曲线，以及通过白光干涉公式仿真的到的理想干涉信号包络曲线，选取参考包络信号中的参考序列和测量包络信号中的匹配序列进行相关性计算，得到相关性系数曲线，找到最大相关位置，再用理想干涉信号替换测量干涉信号实现对信号中非均匀采样问题的校正，最后根据校正信号提取待测样品的高度信息。本发明能较好地补偿因非均匀采样产生的误差，极大地提高测量精度。