公开/公告号CN113454752A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-28
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201980091971.2
申请日2019-02-12
分类号H01J37/34(20060101);C23C14/35(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 12:43:46
机译: 阴极驱动单元,溅射阴极和用于组装阴极驱动单元的方法
机译: 阴极驱动单元,溅射阴极和用于组装阴极驱动单元的方法
机译: 冷阴极管照明驱动单元和液态晶体背光冷阴极管照明驱动单元