一种乙硼烷气瓶余气回收及气瓶清洗装置及其使用方法

摘要

本发明一种乙硼烷气瓶余气回收及气瓶清洗装置及其使用方法，属于特殊气体装备技术领域；包括第一气动阀门，第一气动阀门一端连接高压氮气输入系统，另一端连接压力变送器，压力变送器的输入端与第一气动阀门连接，其输出端与待处理的乙硼烷气瓶连通；且待处理的乙硼烷气瓶还与低温冷阱的输入端进行连接，低温冷阱的输出端与废气处理装置连通，待处理的乙硼烷气瓶与低温冷阱之间有第二气动阀门，低温冷阱与废气处理装置之间有第三气动阀门；待处理的乙硼烷气瓶同时也与废气处理装置进行连通，且连通管理上设置第四气动阀门和乙硼烷浓度检测器。本发明该装置结构设计简单、合理，而且回收效果和清洗效果好，效率高，具有广阔的应用前景。