一种高频双声波模式的双SAW谐振器结构及双SAW滤波器

摘要

本发明公开了一种高频双声波模式的双SAW谐振器结构及双SAW滤波器，该双SAW滤波器结构由下至上依次为衬底、压电薄膜层及换能器叉指电极，其中，衬底采用Si制成，压电薄膜层采用ScAlN制成，换能器叉指电极采用Al制成。采用本发明的双SAW谐振器结构，通过一组通道的叉指换能器布置结构就能够获得双声波模式，大幅减小了谐振器体积和制造成本，同时也有助于简化其应用于双SAW滤波器产品开发的电路设计复杂度，且其压电薄膜材质的选用有助于谐振器结构频率的进一步提升，能够更好的应用于实现双SAW滤波器产品的小型化设计和高频应用；此外，本发明双SAW谐振器结构的制备工艺也容易实现，易于大规模推广应用于具有小型化设计和高频应用需求的双SAW滤波器产品中。