一种基于CCD成像检焦对准的微结构加工方法和装置

摘要

本发明公开了一种基于CCD成像检焦对准的微结构加工方法和装置，通过设计光路使CCD与DMD共轭，当硅片处于焦面位置时，DMD上图案通过远心成像系统在硅片上成像清晰，同时由于CCD与DMD共轭，故硅片上的图案在CCD上也成像清晰，从而可以利用该共轭关系，以CCD上成像清晰度作为DMD曝光焦面的位置检测。本发明提出的基于CCD成像检焦对准的微结构加工方法和装置在保证DMD微结构加工检焦和对准的同时，可实现光刻过程中的实时成像，能够满足任意时刻在硅片的任意位置实现任意图案的曝光光刻，便于各种二维材料的加工，且整机系统结构紧凑。