霍尔效应感测器装置和形成霍尔效应感测器装置的方法

摘要

本发明涉及霍尔效应感测器装置和形成霍尔效应感测器装置的方法，提供一种霍尔效应感测器装置，包括一个或多个感测器结构。各感测器结构可包括：具有第一导电类型的基层；设置在基层之上并具有与第一导电类型相反的第二导电类型的霍尔板区域；设置在霍尔板区域周围并邻接所述霍尔板区域且与基层接触的第一隔离区域；设置在所述霍尔板区域内的多个第二隔离区域；以及设置在霍尔板区域内的多个终端区域。第一隔离区域和第二隔离区域可以包括电性绝缘材料，并且各相邻对的终端区域可以通过多个第二隔离区域中的一个而彼此电性隔离。