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包括光接收装置的基板处理设备和光接收装置的校准方法

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摘要

一种基板处理设备的示例包括：配置为包含平台的腔室；配置为在所述腔室内接收光的光接收装置；以及基板输送设备，其包括轴和配置为随该轴的旋转而旋转的旋转臂，并且配置为向所述光接收装置提供具有不同光量的多个光束。

著录项

  • 公开/公告号CN113257655A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-08-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ASM IP私人控股有限公司;

    申请/专利号CN202110182963.8

  • 发明设计人 西胁和浩;

    申请日2021-02-08

  • 分类号H01J37/32(20060101);C23C16/52(20060101);C23C16/50(20060101);C23C16/455(20060101);

  • 代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人焦玉恒

  • 地址 荷兰阿尔梅勒

  • 入库时间 2023-06-19 12:13:22

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-03-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 专利申请号:2021101829638 申请日:20210208

    实质审查的生效

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