法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-06
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/683 授权公告日:20130327 终止日期:20170115 申请日:20090115
专利权的终止
2013-03-27
授权
授权
2013-03-27
授权
授权
2011-02-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20090115
实质审查的生效
2011-02-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20090115
实质审查的生效
2010-12-15
公开
公开
2010-12-15
公开
公开
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机译: 在处理室中的层沉积期间用于支撑衬底载体和掩模载体的保持装置,用于在衬底上沉积层的设备以及将掩模载体与支撑衬底的衬底载体对准的方法
机译: 在处理室中进行层沉积期间用于支撑衬底载体和掩模载体的保持装置,用于在衬底上沉积层的设备以及将掩模载体与支撑衬底的衬底载体对准的方法
机译: 用于将衬底引入衬底处理设备或从衬底处理设备中取出衬底的设备