公开/公告号CN113186512A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-30
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏集创原子团簇科技研究院有限公司;
申请/专利号CN202110447250.X
申请日2021-04-25
分类号C23C16/42(20060101);C23C16/455(20060101);C23C16/50(20060101);C23C16/52(20060101);C23C16/02(20060101);H01L21/02(20060101);
代理机构32249 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙);
代理人陈建和
地址 210000 江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢-500
入库时间 2023-06-19 12:04:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-15
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23C16/42 专利申请号:202110447250X 申请公布日:20210730
发明专利申请公布后的撤回
机译: 气体团簇反应器,用于各向异性膜生长
机译: 各向异性膜生长的气体簇反应器
机译: 各向异性膜生长的气体簇反应器