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公开/公告号CN113190058A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-30
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州大学;
申请/专利号CN202110460261.1
发明设计人 徐大诚;陆天海;
申请日2021-04-27
分类号G05D23/20(20060101);
代理机构32257 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人李柏柏
地址 215000 江苏省苏州市吴中区石湖西路188号
入库时间 2023-06-19 12:04:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-24
授权
发明专利权授予
机译: 用于检测多个微和纳米机械元素(例如微悬臂梁)位移的系统和方法。
机译: 通过碱基激励进行微悬臂梁致动的系统和方法
机译:基于对称电路的带有温度补偿的Poly MUMP的热敏微悬臂梁传感器,用于微流分析系统
机译:基于聚合物微通道的微悬臂梁功能化系统
机译:SiO_2微悬臂梁的直接激光写入和湿法化学刻蚀方法用于相对湿度传感的制备和表征
机译:共振微悬臂梁热力学焓定量评估优化H 2 inf> S纳米铜气敏材料
机译:使用微悬臂梁和QCM传感器的固定化生物大分子的表征和应用
机译:纳米驱动ZnO微悬臂梁的制备与表征
机译:利用光学系统实现微悬臂梁的反馈控制与表征 辐射压力
机译:用于原位地下表征的微悬臂梁传感器。 2006年ERsD年度报告