一种用于高精度微振动测量三轴加速度计组件

摘要

本申请公开了一种用于高精度微振动测量三轴加速度计组件，包括基座、三个加速度传感器、四个温度传感器；三个所述加速度传感器分别安装在所述基座的三个垂直面上；加速度传感器为高精度微振动测量传感器，所述基座上及每个所述加速度传感器上分别贴装有一个所述温度传感器。本申请通过高精度微振动测量传感器测量三个方向的加速度值；同时通过在每个加速度传感器以及基座上均设置温度传感器，测量三个方向的加速度的时候同时采集三个方向的温度值，在进行高精度测量时可以同时测量敏感轴温度信息，使得可以对每个方向的加速度值用该方向的温度值来校正，进而剔除掉温度变化带来的误差，使得加速度测量的数值更加精准。