公开/公告号CN113088874A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-09
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申请/专利权人 苏州藏茗春贸易有限公司;
申请/专利号CN202110305192.7
发明设计人 张洪磊;
申请日2021-03-23
分类号C23C14/04(20060101);B23K26/382(20140101);
代理机构
代理人
地址 215008 江苏省苏州市姑苏区虎丘路503号
入库时间 2023-06-19 11:47:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-03-14
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23C14/04 专利申请号:2021103051927 申请公布日:20210709
发明专利申请公布后的撤回
机译: 掩膜版划分方法,掩膜版划分装置和掩膜版划分程序
机译: 掩膜基质,光掩膜,曝光方法,设备制造方法,掩膜基质的制造方法,光掩膜的制造方法以及制造系统
机译: 一种相对于摄影掩膜版的光固化schijfvormig底物的方法,一种用伦琴射线照明的设备。