公开/公告号CN113092418A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-09
原文格式PDF
申请/专利权人 惠州视维新技术有限公司;
申请/专利号CN202110354695.3
申请日2021-03-31
分类号G01N21/55(20140101);G01N21/01(20060101);
代理机构44287 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所;
代理人胡海国
地址 516000 广东省惠州市仲恺高新区惠风四路78号
入库时间 2023-06-19 11:47:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/55 专利申请号:2021103546953 申请日:20210331
实质审查的生效
机译: 氮化物层状产品的制造方法,氮化物层状产品,膜质量的测试方法以及半导体生长装置的测试方法
机译: 半导体产品的测试装置,半导体产品的测试方法以及半导体产品
机译: 半导体产品测试装置,半导体产品测试方法和半导体产品