一种基于切克劳斯基法的单晶硅拉制装置

摘要

一种基于切克劳斯基法的单晶硅拉制装置，包括有真空筒体、用于存储液态硅的可旋转石英坩锅和用于抓取晶种的电控机械爪，所述装置还包括有用于转动和升降电控机械爪的旋转单元、用于切换旋转单元转动和升降功能的切换单元、用于为电控机械爪提供晶种的晶种单元和出料单元。本发明工作时，不需要频繁打开真空筒体进行晶种更换，可连续进行单晶硅棒生长工作，增加工作效率，且避免频繁开关真空筒体，减少了工作成本。