一种应用于移相式激光干涉仪的振动检测预处理方法

摘要

本发明公开一种应用于移相式激光干涉仪的振动检测预处理方法，该方法包括：获取一组干涉图像的数据信息，并对干涉图像的数据信息进行振动检测分析并筛选处理出高质量干涉图组；通过解相算法处理高质量干涉图组的像素数据，并结合解包裹、Zernike面形拟合，进一步得到高质量干涉图组的的面形信息，完成检测工作。本发明对通过移相式激光干涉仪所获取的干涉图组进行检测算法分析，来自动判断干涉仪获取的干涉条纹图是否受到较大的振动干扰，进而筛选出相对受振动干扰小的高质量干涉图组，再结合后续的常规操作可得到较优且稳定的测量结果，该振动检测预处理方法一定程度上增强了移相干涉系统的抗振能力。