使用实验设计及响应表面模型的工艺优化

摘要

使用来自计量工具的测量，可确定所述计量工具上的工具设置的组合。接着可确定候选者，且可针对所述候选者中的每一者产生响应表面模型。然后可依据所述响应表面模型来确定提供最大响应且对噪声源最不敏感的所述工具设置的所述候选者的列表。所述候选者的所述列表可各自来自所述响应表面模型的较密集区域。