公开/公告号CN112981410A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 湖北觉辰工艺有限公司;
申请/专利号CN202110188648.6
发明设计人 吴永振;
申请日2021-02-19
分类号C23F3/06(20060101);C09G1/12(20060101);C09G1/18(20060101);
代理机构11516 北京文苑专利代理有限公司;
代理人周会
地址 435100 湖北省黄石市大冶市金井路金井巷45号
入库时间 2023-06-19 11:30:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-25
授权
发明专利权授予
机译: 铜布线抛光用复合材料,半导体集成电路的表面抛光方法以及半导体集成电路的制造铜布线方法
机译: 一种至少一种碳纤维的加工方法,一种碳铜复合材料和一种碳铜复合材料的生产方法
机译: 铜布线抛光用组合物及半导体集成电路的表面抛光方法