公开/公告号CN112961985A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 韶关市欧莱高纯材料技术有限公司;
申请/专利号CN202110137143.7
申请日2021-02-01
分类号C22B7/00(20060101);C25C3/34(20060101);
代理机构11421 北京天盾知识产权代理有限公司;
代理人林晓宏
地址 512000 广东省韶关市武江区西联镇阳山村委阳山五号路6号韶关市欧莱高新材料有限公司B幢厂房办公区
入库时间 2023-06-19 11:26:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-06-13
授权
发明专利权授予
机译: 铟,镓,锌,氧化物靶材的制造方法,以及由此可以制造未分离的单个靶材的铟,镓,锌,氧化物靶材的方法
机译: 翻新含铜和铟的合金溅射靶材,并使用这些靶材制造铜和铟基薄膜
机译: 翻新含铜和铟的合金溅射靶材,以及在制造铜和铟基膜时使用这些靶材