一种偏振无关高衍射效率全介质透射二维光栅

摘要

本发明公开了一种偏振无关高衍射效率全介质透射二维光栅，由上至下为光栅介质层和基底构成光栅结构；顶部的二维光栅结构为矩形柱状或圆柱结构。光栅介质层第一层材料为SiO2，光栅介质层第二层材料为HfO2、Ti2O5或Si3N4中的任意一种，基底材料与光栅介质层第一层材料相同也为SiO2。本发明的偏振无关高衍射效率全介质透射二维光栅在中心波长780纳米时，入射角为零时，两个偏振的‑1级衍射效率都高于24.694％，总透射效率为99.45％，零级效率仅为0.6％，且两个偏振态的效率偏振无关损耗为0.0014dB，实现了偏振无关入射的高效率衍射，同时制作容差大，易于制作。