一种基于硅微通道阵列的光纤面板及其制备方法

摘要

一种基于硅微通道阵列的光纤面板及其制备方法涉及硅微细加工和光电成像技术领域，该光纤面板包括：硅微通道阵列，硅微通道阵列的孔径为1‑10微米，阵列排布方式为四方排列，通道的截面为正方形或者八边形；反射层，反射层制备在硅微通道阵列内的侧表面上，材料为具有高反射率的金属或二氧化硅；填充介质，填充介质填充在反射层构成的空间内，热膨胀系数与硅接近。本发明能制备孔径小到1微米的硅微通阵列结构，提高了光纤面板的分辨率，解决了其与图像传感器匹配问题；光纤面板中纤维间是硅材料，完全解决了传统光纤面板中的光串扰问题；通道的方向都是[100]晶向，通道孔径均匀一致，不会产生传统光纤面板工艺中的畸变问题。