自动替换坩锅的蒸发源及具有该蒸发源的蒸发沉积系统

摘要

本文所公开的是一种用于自动替换坩锅的蒸发源及一种具有所述蒸发源的蒸发沉积系统，其中所述蒸发源是用于在真空腔室中将蒸气沉积材料供应于基板的蒸发源，包括：分配管，被配置为通过喷嘴喷出蒸气沉积材料；蒸发坩锅，被配置为连接于分配管且容置沉积材料；容置壳体，被配置为容置蒸发坩锅；以及第一加热器及第二加热器，被配置为装设于容置壳体中且加热蒸发坩锅。