空气控制柜模块、洁净室系统及改善洁净室空气质量方法

摘要

本发明提供了一种用于洁净室系统的空气控制柜(ACC)模块。洁净室系统具有洁净厂房和洁净附属厂房。洁净室系统的洁净厂房配置成设置有至少一个晶圆处理装置。ACC模块包括ACC进气管、主柜和ACC管道。ACC进气管配置成将空气从洁净室系统的洁净厂房供应到ACC模块。主柜连接至ACC进气管，并且配置成从ACC进气管供应的空气中产生洁净空气。ACC管道连接至主柜，并且配置成将主柜产生的洁净空气供应到洁净室系统的洁净厂房中的晶圆处理装置。本发明还提供洁净室系统及改善洁净室空气质量方法。