尤其用于偏振激光射束的光学组件以及具有该光学组件的EUV辐射产生设备

摘要

本发明涉及一种尤其用于偏振激光射束(30)的光学组件(23)，其包括具有射束入射面(5a、6a、...)和射束出射面(5b、6b、...)的多个板状光学元件(5、6、...)和用于共同固定板状光学元件(5、6、...)的保持件(1)。在每两个相邻的板状光学元件(5、6、...)之间布置至少三个间距保持件(11a‑d)，所述间距保持件分别构造用于点状地贴靠在第一板状光学元件(5)的射束出射面(5a、6a、...)上以及点状地贴靠在相邻的第二板状光学元件(6)的射束入射面(6b、7b、...)上。本发明还涉及一种具有至少一个这种光学组件(23)的EUV辐射产生设备。