一种超精密磨削砂轮及其制备方法和应用

摘要

本发明属于超硬磨具技术领域，具体涉及一种超精密磨削砂轮及其制备方法和应用。所述超精密磨削砂轮，包括金刚石20‑30份、普通磨料15‑20份、聚四氟乙烯粉5‑10份、改性填料5‑15份、热塑性聚氨酯橡胶粉5‑10份、树脂粉35‑55份、增强纤维1‑10份。本发明制备的砂轮锋利度明显提升，有效降低对半导体晶圆材料边棱的切削损伤，提高表面加工质量，降低边缘大小不一的崩口率，增加磨削一致性。