法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-10-27
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C03C10/16 专利申请号:2020116094216 申请公布日:20210319
发明专利申请公布后的驳回
机译: 一种从陶瓷元件提高熔融玻璃耐磨性的方法,以及一种陶瓷元件的耐磨性,该方法包括涂覆一层薄薄的钴铝复合粉末,Yttrium涂层以及一种用钇铈和热稳定的氧化锆涂层。
机译: 基于有机钇氧烷铝氧烷硅氧烷的玻璃陶瓷涂层及其获得方法
机译: 半导体腔室设备用钇铝硅酸盐玻璃陶瓷涂层