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基于薄势垒材料的太赫兹场效应探测器及其设计方法

摘要

本发明公开了一种基于薄势垒材料的太赫兹场效应探测器及其设计方法。所述太赫兹场效应探测器包括:用于提供二维电子气沟道的沟道层和势垒层;以及,源极、漏极、栅极和太赫兹天线;其特征在于,所述设计方法包括:至少依据栅极到二维电子气沟道之间的距离与天线因子成反比、与场效应因子成反比的关系确定栅极到二维电子气沟道之间的距离。本发明实施例提供的一种基于薄势垒材料的太赫兹场效应探测器,通过减小栅极到二维电子气沟道之间的距离,可对探测器的响应度得到平方倍地提高。

著录项

  • 公开/公告号CN112531071A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-03-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202011513673.9

  • 发明设计人 秦华;朱一帆;孙建东;

    申请日2020-12-18

  • 分类号H01L31/112(20060101);H01L31/18(20060101);

  • 代理机构32256 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人王锋

  • 地址 215123 江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号

  • 入库时间 2023-06-19 10:19:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-04-08

    授权

    发明专利权授予

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