基于偏振成像的MEMS面内振动特性的测量方法

摘要

本发明涉及MEMS面内动态特性测量领域，为实现MEMS器件高精度的面内动态位移特性的测量，突破现有技术的限制，得到更为清晰的图像以及精确地测量出MEMS的面内振动情况，并且能够探测MEMS器件的光学特性。为此，本发明采取的技术方案是，基于偏振成像的MEMS面内振动特性的测量方法,通过频闪补光提高图像的亮度，获得更为清晰的视频图像，将采集到的视频图像进行偏振降噪处理,增强图像的对比度，通过频闪成像的面内位移算法，计算得到MEMS器件的面内振动位移，最后通过偏振成像技术分析MEMS器件的偏振特性。本发明主要应用于面内动态特性测量场合。