一种氧化锌基气敏材料的制备方法、制得的气敏材料及其应用

摘要

本发明公开一种氧化锌基气敏材料的制备方法，涉及MEMS气体传感器技术领域，包括以下步骤：(1)锌源溶液的配制；(2)取有机碱溶液滴加到锌盐溶液中，搅拌，超声分散，得到浊液；(3)将浊液置于50‑90℃烘箱中静置反应1‑24h，即制得氧化锌基气敏材料。本发明还提供上述制备方法制得的氧化锌基气敏材料及其应用。本发明的有益效果在于：本发明制备方法简单，无昂贵的设备投入，易批量化生产，制备方法绿色能耗低。制得的化锌基气敏材料、MEMS敏感芯片、MEMS气体传感器用于对硫化氢气体的检测具有灵敏度高、选择性好，响应恢复时间短、检测范围宽的优点。