公开/公告号CN112312033A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-02
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江华诺康科技有限公司;
申请/专利号CN202011147113.6
申请日2020-10-23
分类号H04N5/235(20060101);H04N5/232(20060101);
代理机构33250 杭州华进联浙知识产权代理有限公司;
代理人聂磊
地址 310051 浙江省杭州市滨江区浦沿街道信诚路857号悦江商业中心36006号
入库时间 2023-06-19 09:46:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-01
授权
发明专利权授予
机译: 用于确定掩模版图案和曝光参数的确定方法以及器件制造方法曝光方法。
机译: 确定曝光参数和掩模版的确定方法,曝光方法和设备制造方法
机译: 带电粒子束曝光传输中图形形状的估计方法,用于粒子束曝光传输的掩模版的确定方法以及接近度参数的估计方法