公开/公告号CN112313786A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-02
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申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201980041917.7
发明设计人 H·P·西瑞曼;S·米纳科什孙达拉姆;A·罗布;
申请日2019-06-07
分类号H01L21/67(20060101);H01L21/66(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人刘丽楠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 09:44:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-03
授权
发明专利权授予
机译: 先进的过程控制集成的扫描电子显微镜和光学分析技术
机译: 集成的扫描电子显微镜和光学分析技术,可进行高级过程控制
机译: 可配置的先进技术附件/集成式驱动电子主机控制器,带有可编程定时寄存器,可存储控制通信的定时参数