一种浸没流场的初始建立方法及用此建立方法的光刻方法

摘要

本发明公开了一种浸没流场的初始建立方法及用此建立方法的光刻方法，关闭浸液供给系统，关闭密封抽排系统，开启主抽排系统，经主抽排口抽排气体；开启气体供给系统，经气密封口向第三间隙供给高溶解度气体；持续经主抽排口抽排气体，引导并替代末端物镜与衬底间环境气体，完全填充第三间隙位于气密封口径向内侧部分，实现完全填充第一间隙；开启浸液供给系统，抽排引导下，浸没液体逐渐替代高溶解度气体并完全填充第一间隙；开启浸液抽排系统与密封抽排口连接的流路；等待一段时间，浸没液体在第一、第二及第三间隙内达到稳定流动状态，完成浸没流场的初始建立过程。更好实现气泡消除，降低气泡消除消耗时长，提高生产效率，提高曝光质量。