一种基于PB微透镜阵列的波前传感器及其波前测量方法

摘要

本发明提供了一种基于PB微透镜阵列的波前传感器及其波前测量方法，包括：圆偏振光生成模块、液晶PB微透镜阵列模块和阵列型光电探测器模块；圆偏振光生成模块用于将入射光转换为圆偏振光；液晶PB微透镜阵列模块由具有相同PB相位分布的若干液晶PB微透镜单元组成，用于将圆偏振光聚焦于焦平面；探测器用于接收圆偏振光聚焦于液晶PB微透镜阵列模块焦平面所成的像。本发明的波前传感器通过若干液晶PB微透镜单元将入射光聚焦于焦平面成像，并根据探测器接收的入射光聚焦于焦平面的像对入射光的波前进行重构，测量装置简单，液晶PB微透镜阵列模块由平面结构的液晶PB微透镜单元组成，测量分辨率高，制造成本低且容易集成。