针对用于测量压力变化的MEMS和NEMS设备的机械连接及包括这种机械连接的设备

摘要

本发明涉及测量压力变化的微机电和/或纳米机电设备的机械连接，所述设备包括在主平面中延伸的固定部件、能够在压力变化的作用下在平面外方向上移动或变形的移动部件以及用于检测所述移动或所述变形的包括至少一个移动元件的检测装置，该机械连接包括：‑杠杆臂；‑将移动部件连接到杠杆臂的第一端的第一连接，所述第一连接被设计成将所述移动部件的平面外移动传递到杠杆臂的所述第一端，而同时允许所述杠杆臂绕旋转方向(Y)的平面外旋转；‑第二连接，其被连接到杠杆臂的第二端并且被构造成主要允许杠杆臂绕在旋转方向上延伸的旋转轴线的平面外旋转；‑第三连接，其在平面外方向上距旋转轴线给定距离处将杠杆臂连接到检测装置，所述第三连接被设计成将所述杠杆臂绕所述旋转轴线的旋转转换成至少一个移动元件在平移方向上的平面中平移。