公开/公告号CN112204317A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-08
原文格式PDF
申请/专利权人 佳能半导体制造设备股份有限公司;
申请/专利号CN201980035273.0
申请日2019-05-17
分类号F25B1/00(20060101);G03F7/20(20060101);F25B39/02(20060101);F25B5/04(20060101);
代理机构11038 中国贸促会专利商标事务所有限公司;
代理人李鹏宇
地址 日本茨城县
入库时间 2023-06-19 09:29:07
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-25
授权
发明专利权授予
机译: 冷却装置,配备有冷却装置的曝光装置,配备冷却装置的工业设备
机译: 冷却装置,带冷却装置的曝光装置,带冷却装置的工业设备
机译: 冷却装置,电子设备以及具备该冷却装置的投影显示装置