铟镓锌氧化物薄膜的前驱液及铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备方法

摘要

本发明提供一种铟镓锌氧化物薄膜的前驱液及铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备方法，涉及半导体技术领域。该前驱液包括铟盐、镓盐、锌盐、稳定剂和溶剂；其中稳定剂为乙醇胺。本发明通过采用乙醇胺帮助促进前驱液的氧化过程，降低铟镓锌氧化物薄膜内氧空位的浓度，从而改善以铟镓锌氧化物薄膜为沟道层的薄膜晶体管的阈值电压负偏的问题。