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可测试及微转移的微元件及其制作、测试和转移方法、显示装置

摘要

本发明提供了一种可测试及微转移的微元件及其制作、测试和转移方法、显示装置,其第一电极和所述第二电极分别通过所述LED芯粒的侧壁延伸至与所述沟槽对应的键合层表面,使其裸露于所述沟槽上方,对处于倒挂悬空状态的LED芯粒起到支撑作用。同时,可通过第一测试电极和第二测试电极在对所述LED芯粒转移前进行电性测试实现所述LED芯粒的良率筛选,避免电性异常的LED芯粒被转移至基板,进而减少修复成本。然后,在后续的转移工艺时,可将裸露于所述沟槽上方的第一电极和第二电极的金属作为巨量转移的链条,裸露的键合层作为锚固,通过转移设备定位至各所述锚固,即可实现所述微元件的巨量转移。

著录项

  • 公开/公告号CN111933627A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-11-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 厦门乾照半导体科技有限公司;

    申请/专利号CN202010959493.7

  • 申请日2020-09-14

  • 分类号H01L25/075(20060101);H01L21/66(20060101);H01L21/67(20060101);H01L27/15(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 361001 福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区翔天路267号

  • 入库时间 2023-06-19 08:55:10

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