p型硅晶片中的Fe浓度测定方法和SPV测定装置

摘要

本发明提供了能够提高1×109/cm3以下的Fe浓度的测定精度的利用SPV法的p型硅晶片中的Fe浓度测定方法。本发明是一种p型硅晶片中的Fe浓度测定方法，其特征在于，在基于对p型硅晶片进行的利用SPV法的测定来求取该p型硅晶片中的Fe浓度时，所述测定在Na+、NH4+和K+的合计浓度为1.750μg/m3以下并且F‑、Cl‑、NO2‑、PO43‑、Br‑、NO3‑和SO42‑的合计浓度为0.552μg/m3以下的环境下进行。