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一种预防Coating液未涂布装置

摘要

本发明提供一种预防Coating液未涂布装置。所述预防Coating液未涂布装置包括机台本体,所述机台本体上设置有管道本体,底座,所述底座固定于所述机台本体的侧面,所述底座的一侧固定连接有连接板;检测盒,所述检测盒设置于所述管道本体的表面。本发明提供的预防Coating液未涂布装置具有通过信号检测器对管道本体内部的液体进行检测,解决了未知液体状况进行提示问题,提高设备运行稳定性,提高设备生产效率,提高人员工作效率,可避免在没有Coating保护液的情况下自动报警,大幅提升对产品品质的保护,设备安装完成后,可侦测分辨纯水和Coating保护液,效果明显,可有效防止作业前未进行更换液体而进行及时有效的提示,保障设备运行的安全性,提高生产效率。

著录项

  • 公开/公告号CN111735771A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-10-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 合肥新汇成微电子有限公司;

    申请/专利号CN202010370456.2

  • 发明设计人 许刚;钟志芳;吴秋明;

    申请日2020-05-06

  • 分类号G01N21/17(20060101);G01D5/34(20060101);G01D5/26(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 230000 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内

  • 入库时间 2023-06-19 08:27:06

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