一种基于MEMS麦克风阵列的光声池及光声光谱传感器

摘要

本发明公开了一种基于MEMS麦克风阵列的光声池及光声光谱传感器，光声池包括光声池外壳和位于光声池外壳顶部的窗口片，所述光声池外壳内底部设置底座，所述底座上设置MEMS麦克风阵列，所述底座与窗口片之间填充有标准气体，所述底座底部设有伸出光声池外壳的电极；声光谱传感器包括MEMS红外光源、检测气室和光声池，所述检测气室位于MEMS红外光源和光声池之间。本发明所公开的光声池及光声光谱传感器采用MEMS麦克风阵列作为压力传感器件，可以降低噪声的影响，放大有效信号，实现高精度、高信噪比气体浓度检测效果。