公开/公告号CN112067405A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-11
原文格式PDF
申请/专利权人 南京南智先进光电集成技术研究院有限公司;
申请/专利号CN202011075854.8
申请日2020-10-10
分类号G01N1/28(20060101);G01Q30/20(20100101);
代理机构11363 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人逯长明;许伟群
地址 210000 江苏省南京市江北新区研创园团结路99号孵鹰大厦690室
入库时间 2023-06-19 08:06:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-12-23
授权
发明专利权授予
机译: 利用FIB制作平面图TEM样品的方法
机译: 平面图从电路层结构制备TEM样品
机译: 平面图从电路层结构制备TEM样品