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图案形成方法、加工基板的生产方法、光学部件的生产方法、电路板的生产方法、电子部件的生产方法和压印模具的生产方法

摘要

一种在基板(201)上形成图案的方法,其中:将包含作为聚合性化合物的组分(a1)和作为光聚合引发剂的组分(b1)且以相对于100重量份组分(a1)为0重量份以上且小于0.1重量份的量包含组分(b1)的固化性组合物(202)的层配置在基板(201)的表面上;并将包含作为聚合性化合物的组分(a2)和作为光聚合引发剂的组分(b2)的固化性组合物(203)的液滴离散地滴落在固化性组合物(202)的层上,从而将固化性组合物(202)和固化性组合物(203)的混合层夹持在模具(205)与基板(201)之间;使混合层通过光(206)的照射而固化;和将模具(205)与固化后的混合层脱离。如果固化性组合物(202)曝光于1.00mW/cm

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-12-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20170329

    实质审查的生效

  • 2018-11-23

    公开

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