基于组合X射线毛细管的微束X射线荧光分析系统

摘要

一种基于组合X射线毛细管的微束X射线荧光分析系统，包括X射线光管、可见光激光器、组合X射线毛细管器件、样品台和X射线探测器及其信息采集分析模块，所述X射线光管或可见光激光器均和组合X射线毛细管器件、样品台的被测样品位于同一光轴上，所述X射线探测器贴近被测样品放置，所述X射线探测器与信息采集分析模块相连。本发明提供一种同时具备高微区分辨率和高探测灵敏度，并可进行现场分析的小型化微束X射线荧光分析系统。